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本发明技术方案公开了一种非对称光栅结构图案的制作方法,确定激光波长下液晶显示器件的灰阶等级与出射光强之间的关系并绘制相应曲线图;结合感光胶的曝光特性确定灰阶等级与蚀刻深度的关系并绘制成曲线图;生成对应调制图,记载至激光直写系统,对感光胶进行曝光刻蚀以生成非对称光栅结构图案;对非对称光栅结构图案进行显影以去除曝光残胶;对显影后的非对称光栅结构图案进行软化处理以提升非对称光栅结构图案的表面光滑度;对软化后的非对称光栅结构图案进行降温冷却以得到完整的非对称光栅结构图案。实现了高精度非对称光栅结构的一次
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112505811 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 202011075618.6
(22)申请日 2020.10.10
(71)申请人 上海
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