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一?薄膜制备的真空技术根底： 薄膜制备方法忡忙厅去负誉狀法溅射法 离子镀方法
上八卡方疙；电级门法化学气相生长法
1, 气体分子的平均自由程：
气体分子在两次碰撞的间隔时间里走过的平均距离。
1
d —气体分子的有效截面直
n 二2 d
2, 单位面积上气体分子的 通量：气体分子对于单位面积外表的碰撞频率。
什巴=U
4 41^MRT
------ 克努森方栈
3, 流导：真空管路中气体的通过力量。
c =—-— pl
- p2
pL p2 —管路两端的气压
Q —单位时间內通过管路妁气体流量
〔单位时间内流过的气体体积与压力的乘积〕
分子流气体：流导 C 与压力无关，受管路
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