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本申请公开了一种主动开关及其制作方法和显示面板,所述主动开关包括依次堆叠的衬底、缓冲层、有源层、栅极绝缘层、第一栅极、第二栅极、钝化层、源极和漏极,所述有源层由铟镓锌氧化物构成,所述第一栅极和第二栅极并列设置,且位于所述源极和漏极之间;所述源极和漏极贯穿所述钝化层,分别与所述有源层的两端连接。本申请通过采用双顶栅结构的主动开关,并列的双顶栅相当于两个级联主动开关由同一个栅信号控制,采用双顶栅结构可以使关态漏电流明显减小而几乎不影响开态电流的大小,因此能够提高对栅极的控制能力,改善TFT的漏电效果
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112542516 A
(43)申请公布日 2021.03.23
(21)申请号 202011219615.5 H01L 27/32 (2006.01)
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