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一种高干燥效率的碱金属气室及其干燥方法.pdfVIP

一种高干燥效率的碱金属气室及其干燥方法.pdf

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    本发明所述的一种高干燥效率的碱金属气室及其干燥方法，通过设置与气室主体错位相切的进气尾管和出气尾管，使得用于干燥的氮气等惰性气体在重力和切向力的作用下，沿着气室主体内壁形成旋风状气流，对气室内壁表面的残留清洗液进行高效率干燥。该高干燥效率的碱金属气室可以保证碱金属气室的洁净度，不受干燥操作环境洁净度的影响，缩短气室干燥时间，在提高碱金属气室内抗弛豫涂层的质量方面具有重大的意义。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112539643 B (45)授权公告日 2022.01.21 (21)申请号 202011374026.4 (56)对比文件 (22)申请日 2020.11.30

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