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本发明提供了一种多接头的真空检测装置和薄膜规真空度检测方法，可通过多个接头同时连接多个待测薄膜规进行检测，检测时，若标准真空测量仪器的测得值没变化表示所有薄膜规均合格，若有变化表示其中至少一个薄膜规不合格，从而可通过对半排查的方式确定不合格薄膜规；与现有技术中只能逐个检测的方式相比，检测效率更高，操作更方便，且该多接头的真空检测装置的结构简单、成本低廉。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112556921 A
(43)申请公布日 2021.03.26
(21)申请号 202011241981.0
(22)申请日 2020.11.09
(71)申请人 季华实验室
地址 5
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