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通过化学气相渗透使多孔环形衬底致密化的方法.pdfVIP

通过化学气相渗透使多孔环形衬底致密化的方法.pdf

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    本发明涉及一种通过化学气相渗透使多孔环形衬底(18)致密化的方法，所述方法至少包括以下步骤：提供多个单一模块(10)，其包括支撑板(14)，在所述支撑板(14)上形成有衬底的叠堆，所述支撑板具有与由堆叠衬底的中心通道(18a)形成的内部体积(17)连通的中心进气开口(14a)和环绕该中心开口成角度地分布的排气开口(14b)，以及形成热质量的圆筒(16)，所述圆筒环绕衬底的叠堆设置并且具有固定到支撑板的第一端部(16a)，以及第二自由端(16b)；在致密化炉的腔室(34)中形成单一模块的的叠堆，以

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112567067 B (45)授权公告日 2022.05.24 (21)申请号 201980051768.2 (74)专利代理机构 中国商标专利事务所有限公

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