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实施例大体上涉及一种处理信息管理系统和一种用于管理处理信息的方法。根据一个实施例,处理信息管理系统包含:异常分析器,其配置成基于处理位置信息而产生目标晶片的异常发生数据,所述处理位置信息基于根据所检测处理状态来输出第一传感器信号的第一传感器而进行收集,所述第一传感器设置于晶片处理设备中;以及整合系统,其配置成将所述异常发生数据整合到对应于所述目标晶片的晶片映射数据中。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112530832 A
(43)申请公布日
2021.03.19
(21)申请号 20201
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