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本发明涉及铌酸锂材料激光无尘打标装置及打标方法，沿光路依次设置有纳秒紫外激光器、光斑整形模组、功率实时反馈调节模组、扫描振镜以及聚焦镜，光斑整形模组包含依光路传输方向设置的扩束镜、匀光组件和光斑选择模组，功率实时反馈调节模组包含依光路传输方向设置的玻片和分光镜，电机与玻片驱动连接，能带动玻片转动，分光镜的反射光路上布置有功率计，分光镜的透射光路上布置有反射单元，反射单元的反射光路上衔接扫描振镜，聚焦镜的输出端正对于加工平台上的铌酸锂材料。采用合适波长、峰值功率和脉宽的激光器，光斑整形模组提供多光
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116174966 A
(43)申请公布日 2023.05.30
(21)申请号 202310241704.7
(22)申请日 2023.03.14
(71)申请人 苏州德龙激光股份有限公司
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