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公开了光源设备、照明装置、曝光装置以及用于制造物品的方法。为了使包括发光二极管(LED)阵列的光源设备中的被照射面上的光强度分布均匀化,光源设备包括发光二极管(LED)阵列,该发光二极管阵列包括电路,该电路具有基板、该基板上的多个LED芯片以及电源,其中,预定平面被用来自LED阵列的光照亮,多个LED芯片包括放置在该电路的同一列中的第一LED芯片和与第一LED芯片不同的第二LED芯片,并且第一LED芯片具有与第二LED芯片的放置角度不同的放置角度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112558421 A
(43)申请公布日 2021.03.26
(21)申请号 202011026364.9
(22)申请日 2020.09.25
(30)优先权数据
2019-1762
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