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本发明公开一种显示面板和薄膜晶体管的制造方法及其制造设备。薄膜晶体管的制造方法包括:在衬底上形成未结晶的有源层;在所述有源层上方形成遮光层;在所述遮光层上方用激光对所述有源层进行结晶化处理;所述遮光层宽度小于对应的所述有源层的宽度。本发明在有源层结晶前先在辅助层上方设置遮光层,然后再用激光诱导结使有源层的存在未结晶的区域,该区域可以有效抑制器件的漏电流,因此能增加器件的开关比,从而提高器件的稳定性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112542386 B
(45)授权公告日 2022.07.08
(21)申请号 202011209926.3 H01L 27/32 (2006.01)
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