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2023-06-01 发布于四川
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MEMS器件的制造方法以及MEMS器件.pdf

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本发明提供能够抑制器件部的损伤的MEMS器件的制造方法以及MEMS器件。谐振装置(1)的制造方法包括：从第二基板(350)的下表面侧照射激光LL，以便沿上表面形成有器件部的第一基板(330)与上表面经由接合部(60)与第一基板(330)的下表面接合的第二基板(350)的分割线(LN1、LN2)在第二基板(350)的内部形成改性区域(MA2)的工序S306；以及对改性区域(MA2)施加应力并沿分割线(LN1、LN2)来分割第一基板(330)以及第二基板(350)的工序S307，接合部(60)沿分割

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112567500 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 201980053800.0 (74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

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