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2023-06-01 发布于四川
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对称的前体输送.pdf

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一种用于处理室的气体输送系统包括用于输送第一化学品的第一通道和用于输送第二化学品的第二通道。第一通道包括第一出口阀，而第二通道包括第二出口阀。涓流气体源连接到第一和第二通道。第一接头耦合到第一出口阀，而第二接头连接到第二出口阀。公共导管连接在第一接头和第二接头之间。第一接头包括用于从推压气体源提供推压气体的输入端，而第二接头包括通向处理室的输出端。在操作期间，每次第一通道或第二通道中的一个处于运行状态。来自涓流气体源的涓流气体流入第一或第二通道中的运行通道和非运行通道。来自推入气体源的推压惰性气

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112567069 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 201980054132.3 (74)专利代理机构上海胜康律师事务所 31263

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