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2023-06-01 发布于四川
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MEMS传感器的制作方法.pdf

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本发明涉及MEMS传感器技术领域，尤其涉及一种MEMS传感器的制作方法。本发明的MEMS传感器的制作方法，在MEMS晶圆的背面涂覆胶水形成胶水层，并对胶水层进行半固化处理；再进行MEMS晶圆切割，切割所得的单颗MEMS芯片背面设有一层半固化的胶水层；再将单颗MEMS芯片设有胶水层的一面与基板结合，对胶水层进行固化；通过上述方式，在基板上安装MEMS芯片时，无需在基板上进行点胶操作，减少了胶水用量，避免了胶水在MEMS芯片周围溢出，有利于降低MEMS芯片的厚度，有利于提高MEMS传感器的性能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112551480 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 202011288259.2 (22)申请日 2020.11.17 (71)申请人瑞声新能源发展（常州）有限公司科

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