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2023-06-01 发布于四川
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固定装置、固定方法及检测设备.pdf

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本发明公开了一种固定装置、固定方法及检测设备，包括：固定盘，包括相对的盘面和背面，所述盘面包括承载区，所述承载区设有用于吸附待支撑物的真空吸附区域；多个支撑组件，所述支撑组件包括用于支撑待支撑物的支撑面，所述支撑面与所述背面之间的距离大于所述真空吸附区域表面与背面之间的距离；其中，所述支撑组件分布于所述承载区边缘，所述支撑组件与所述固定盘可拆卸连接；或者，所述支撑组件用于自所述承载区边缘移动至所述承载区外围。该装置既可以通过与盘面不接触的方式固定待支撑物，也可以通过真空吸附的方式固定待支撑物，能

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112548888 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 201911024967.2 (22)申请日 2019.10.25 (71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司

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