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一种半导体装置,包括:外围电路区,其包括第一衬底和第一衬底上的电路元件;以及存储器单元区,其包括:第二衬底,其位于第一衬底的上部分上;栅电极,其彼此间隔开并竖直地堆叠在第二衬底上;沟道结构,其穿过栅电极竖直地延伸到第二衬底;第一分离区,其穿透沟道结构之间的栅电极并在一个方向上延伸;以及第二分离区,其竖直地延伸以从上方穿透第二衬底并具有由于宽度的改变而导致的弯曲部分。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112563282 A
(43)申请公布日 2021.03.26
(21)申请号 202010986152.9 H01L 27/11582 (2017.01)
(22)申请日
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