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一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构.pdfVIP

一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构.pdf

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    本发明公开了一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构，包括激光器、薄膜光栅、光电探测器，所述激光器设置于薄膜光栅一侧并向薄膜光栅提供光源，所述光电探测器设置于薄膜光栅另一侧用于接收激光器光源通过薄膜光栅后的衍射图样，本发明将传统光麦克风的振动薄膜与衍射光栅相结合，利用薄膜有效形变影响光栅进而导致衍射光的变化，根据衍射光的变化计算出声波的振动情况，本发明结构比传统光麦克更加简单，计算声波幅度和频率的方法更为简便。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112556822 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 202011415031.5 (22)申请日 2020.12.05 (71)申请人 南京信光半导体科技有限公司

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