用于温度和气体检测的红外热电堆传感器的制备方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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用于温度和气体检测的红外热电堆传感器的制备方法.pdf

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本发明涉及用于温度和气体检测的红外热电堆传感器的制备方法，包括以下步骤：硅片处理；挖槽；生长介质层，先热生长氧化硅层，再生长多晶硅层；离子注入；等离子对多晶硅刻蚀出第一层硅条；生成氧化硅隔离层；等离子对氧化硅刻蚀出第二层硅条；生长氧化硅层；刻蚀出引线孔；金属连接，溅射铝，光刻铝条，接着腐蚀成形，形成多晶硅与铝的热偶对结构；合金化；在惰性气体条件下蒸发一层镍层；光刻刻蚀开口；刻蚀腔体，干法刻蚀释放结构，根据刻蚀开口刻蚀硅衬底，形成悬浮吸收层，释放热电堆结构。本发明涉及一种传感器的制备方法，尤其是用

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112563401 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 202011266177.8 (22)申请日 2020.11.13 (71)申请人无锡宏芯传感科技有限公司

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