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本发明提供了一种测量薄膜不同方向应力梯度的方法,包括步骤:通过仿真获取第一方向上薄膜基于S11应力梯度的斜率等效系数KX1、基于S22应力梯度的斜率等效系数KX2;通过仿真获取第二方向上薄膜基于S11应力梯度的斜率等效系数KY1、基于S22应力梯度的斜率等效系数KY2;通过实际测试获取薄膜第一方向上的斜率K1以及第二方向上的斜率K2;根据所述KX1、KX2、KY1、KY2、以及K1、K2计算所述薄膜第一方向、第二方向的应力梯度。本发明测量准确性更高,更简单。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112556906 B
(45)授权公告日 2021.12.24
(21)申请号 202011183022.8 (56)对比文件
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