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干涉仪移动镜位置测定装置和傅里叶变换红外分光光谱仪.pdfVIP

干涉仪移动镜位置测定装置和傅里叶变换红外分光光谱仪.pdf

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    干涉仪移动镜位置测定装置(10)用于确定具有分束器(22)、固定镜(23)以及移动镜(24)的干涉仪的移动镜(24)的位置，干涉仪移动镜位置测定装置(10)具备：激光光源(11)；相位分离光学系统(1/8波片(15)、偏振分束器(16))，其能够将相位互不相同的第一光和第二光进行分离并进行检测，第一光和第二光是激光光源(11)的光被固定镜(23)和移动镜(24)反射而生成的；信号变换部，其与移动镜(24)的位置同步地分别检测第一光和第二光，来生成第一正弦波信号和第二正弦波信号；信号变换部(第一光

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112567196 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 201880096674.2 (51)Int.Cl.

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