污染物检测工具及相关方法.pdfVIP

污染物检测工具及相关方法.pdf

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本申请案涉及污染物检测工具及相关方法。一种污染物检测方法包括将包括一或多种污染物的晶片暴露于氧化剂的微滴以在所述晶片的表面上形成氧化物，将所述氧化物暴露于蚀刻剂以去除所述氧化物并将所述一或多种污染物留在所述晶片的所述表面上，及确定所述一或多种污染物的组成。还揭示额外方法及相关工具。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112563146 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 202011014483.2 (22)申请日 2020.09.24 (30)优先权数据 16/582,42

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