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为了提供能够判断是否需要维护基板处理装置的判断装置，本发明所涉及的判断装置的特征在于，针对在基板处理装置中摄像的基板上的标志的图像数据，使用通过机器学习取得的学习模型，进行与对准失败要因有关的分类，根据分类的结果，判断是否需要维护基板处理装置。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112558435 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 202011023439.8 (22)申请日 2020.09.25 (30)优先权数据 2019-1743

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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