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本发明公开一种高纯或有毒流体的回收装置，包括内层压力容器，中层压力容器、外层真空容器、内层压力容器的热开关、各容器的管路及阀门等；所述的内层压力容器用于盛放高纯或者有毒流体介质，中层压力容器与内层压力容器构成的环形密闭空间可以充注液氮或者其他低温流体，外层真空容器可以提供真空环境减小漏热，内层压力容器与外层真空容器之间设计有波纹管连接的热开关，可以在保证真空的前提下实现热开关的闭合与断开。在中层压力容器内充注液氮或者其他低温流体时，内层压力容器内获得较低的蒸气压，从而实现对高纯或者有毒流体的回收
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112539336 A
(43)申请公布日 2021.03.23
(21)申请号 202011541512.0
(22)申请日 2020.12.23
(71)申请人 上海交通大学
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