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一种非平衡磁场的高能脉冲磁控镀膜机及其制作加工工艺.pdfVIP

一种非平衡磁场的高能脉冲磁控镀膜机及其制作加工工艺.pdf

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    本发明提供一种非平衡磁场的高能脉冲磁控镀膜机，包括镀膜腔室以及安装在镀膜腔室内的转盘、安装治具、磁控阴极组件和离子源；所述安装治具固定在转盘上方；所述磁控阴极组件设置至少一组；每组所述磁控阴极组件分别包过若干个位于转盘外周的磁控阴极；相邻的所述磁控阴极之间的磁场闭合；所述离子源与磁控阴极耦合，在镀膜工艺中，在镀膜前，先对材料进行四次刻蚀，本设计可以提高产品的离化率以及改变材料的显微晶结构，镀膜效果好。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112522672 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202011295338.6 C23C 14/02 (2006.01) (22)申请日 2020.11

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