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晶圆缺陷检测方法.pdf

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该发明涉及一种晶圆缺陷检测方法，能够利用自动化图像识别技术获取晶圆掩膜图像，减少人力和时间的消耗。所述晶圆缺陷检测方法，包括以下步骤：获取晶圆标准样品图像；对所述晶圆标准样品图像进行自动化分割处理，获得晶圆掩模图像；获取待检测晶圆图像，通过比对所述晶圆掩模图像与所述待检测晶圆图像进行晶圆缺陷侦测。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112561849 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 20191

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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