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一种真空脱泡装置及方法.pdfVIP

一种真空脱泡装置及方法.pdf

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    本发明公开了一种真空脱泡装置及方法，包括进料装置、脱泡装置、温度显示仪，所述进料装置包括水平导轨、竖直导轨、侧面板、驱动液压缸、升降液压缸、双层圆形密封板、输料架，盛料容器、滑动板、压力传感器，所述脱泡装置包括矩形腔体、载料台、底座、加热器、外壳、进气法兰、出气法兰，所述驱动液压缸固定在水平导轨的侧面板上，升降液压缸固定在竖直导轨的水平面板上，将贴合的硅片放置于盛料容器中，在真空和高温环境下去除气泡。整个脱泡过程高效有序，操作简便，实用性强。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112563166 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 202011389707.8 (22)申请日 2020.12.01 (71)申请人 中国计量大学 地址

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