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本发明涉及一种铝硅靶材的制作方法，包括提供AlSi铸锭步骤，拔长步骤，拔长步骤采用冷拔作业，冷拔作业中的锻造比，1≤X1＜2；一次墩粗步骤，控制锻造比为2≤X2＜3，且一次墩粗采用冷镦作业；中间热处理步骤，将产品保持在第一预设温度范围内，保温第一预设时间后，迅速置于冷水中；二次墩粗步骤，控制锻造比为2≤X3＜3，二次墩粗也采用冷镦作业；预热处理步骤；压延步骤，对产品进行多道次压延，并且随着压延道次的增加，压下量减少；退火热处理工艺步骤，在退火温度范围内，保温第三时间，进行水冷处理，形成最终靶材产
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112538598 B
(45)授权公告日 2021.12.24
(21)申请号 202011393135.0 (51)Int.Cl.
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