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本发明涉及一种氮化镓功率器件,包括:氮化镓基底;阴极;多个氮化镓凸起结构,设于所述氮化镓基底上、阴极之间,相邻的氮化镓凸起结构之间形成凹槽;电子迁移层,覆盖各所述氮化镓凸起结构的顶部和侧面;氮化镓层,设于所述电子迁移层上并填充各所述凹槽;所述电子迁移层用于在被设置的位置形成导电沟道区,所述导电沟道区的电子迁移率高于所述氮化镓层的电子迁移率;多个第二导电类型区,每个第二导电类型区从所述氮化镓层的顶部向下伸入一所述凹槽,各所述氮化镓凸起结构的顶部均高于各所述第二导电类型区的底部;阳极,设于所述氮化镓
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112563317 B
(45)授权公告日 2022.03.08
(21)申请号 201910919577.5 (51)Int.Cl.
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