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本发明公布了一种适用于MWT太阳能电池的多层复合膜及其制造方法，该多层复合膜位于硅片表面的氧化铝层上，自内向外依次为：第二氮化硅层、碳氮化硅层、第三氮化硅层、氮氧化硅层以及氧化硅层；其中所述第三氮化硅层为由19‑21nm的第四氮化硅层、20‑30nm的第五氮化硅层以及30‑40nm的第六氮化硅层叠置组成。本发明通过氧化铝膜和氮化硅膜中间先加镀一层氮化硅膜，对氧化铝进行重构，再镀一层碳氮化硅膜，碳氮化硅的折射率高于氮化硅，所以底层高折射率的膜层起到优化钝化效果，然后在氮化硅膜外侧镀上氮氧化硅膜和氧
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116190464 A
(43)申请公布日 2023.05.30
(21)申请号 202310303454.5
(22)申请日 2023.03.27
(71)申请人 江苏日托光伏科技股份有限公司
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