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2023-06-01 发布于四川
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一种多场耦合材料加工装置.pdf

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本申请公开了一种多场耦合材料加工装置，包括：加工腔体，所述加工腔体具有加工内腔；用于储存待加工材料，并能够进出所述加工腔体的储料件；能够对位于所述加工内腔中的所述待加工材料施加压力的施力系统；能够加热位于所述加工内腔中的所述待加工材料，以使所述待加工材料具有不同温度的温度系统；能够对位于所述加工内腔中的所述待加工材料施加电场的电场系统；能够改变所述加工内腔的气氛状态，以使位于所述加工内腔中的所述待加工材料处于不同气氛环境的气氛系统。上述的多场耦合材料加工装置，能够在加工过程中对待加工材料同时施加

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112563408 A (43)申请公布日 2021.03.26 (21)申请号 202011360120.4 (22)申请日 2020.11.27 (71)申请人昆山微电子技术研究院

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