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本发明公开了NXT工作头真空检测装置，包括：总进气管、气路切换机构、真空发生器、三通气管接头、正/负压输出端；所述总进气管与所述气路切换机构相连接，所述气路切换机构将总进气管输入的压缩空气切换分出两路正气压，其中，一路正压通过第一正压气管与所述真空发生器的输入端相连接，所述真空发生器的输出端与所述三通气管接头的一端相连接；另一路正压通过第二正压气管与所述三通气管接头的另一端相连接，所述三通气管接头的输出端与所述正/负压输出端相连接。通过上述方式，本发明提供的NXT工作头真空检测装置，在总进气管的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112539873 A
(43)申请公布日 2021.03.23
(21)申请号 202110005097.5
(22)申请日 2021.01.05
(71)申请人 伟创力电子技术(苏州)有限公司
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