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2023-06-01 发布于四川
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一种硅纳米线基气体传感器元件及其制备方法和在检测丙酮中的应用.pdf

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本发明公开一种硅纳米线基气体传感器元件及其制备方法和在检测丙酮中的应用，在硅纳米线表面引入纳米Ag和APTES双重修饰改性结构，即利用化学刻蚀形成硅纳米线过程中反应生成的金属Ag副产物实现硅纳米线的修饰改性，APTES在乙醇溶液中与硅纳米线发生相互作用，在纳米线表面形成APTES的氨基官能团的有效附着，从而极大地增强硅纳米线对有机丙酮分子的表面吸附能力，显著提高和改善硅纳米线传感器对丙酮的灵敏度响应。本发明的元件在室温和80％的相对湿度下对1ppm和2ppm丙酮有精确识别作用，有望应用于早期糖尿

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112557456 B (45)授权公告日 2021.12.21 (21)申请号 201910913552.4 CN 101191794 A,2008.06.04

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