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本发明提供一种实现三轴测力的大量程电容式柔性传感器，上柔性衬底的底部设有若干高度一致的衬底凸台，上电极为覆盖在上柔性衬底底部的金属层，下电极包括若干中间电极和围绕在中间电极外围的外围电极，中间电极与外围电极一一对应；中间电极与上电极之间形成的电容传感器用于测量正向力，外围电极与上电极之间形成的电容传感器用于测量切向力。本发明利用上柔性衬底自身的柔性以及底部的衬底凸台，使得介质层被完全压缩后，上柔性衬底仍然可以压缩一定的行程，从而有效提升传感器的量程；利用下电极的排布，从而分别测量正向力和切向力。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112577643 B
(45)授权公告日 2022.08.05
(21)申请号 202011458947.9 CN 208998968 U,2019.06.18
(22)申请日
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