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衍射光学元件与衍射光学元件的制造方法.pdfVIP

衍射光学元件与衍射光学元件的制造方法.pdf

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    一种衍射光学元件与衍射光学元件的制造方法。此衍射光学元件包含基底、第一衍射结构层以及第二衍射结构层。此基底具有第一表面以及相对第一表面的第二表面。第一衍射结构层设置于基底的第一表面上。第二衍射结构层设置于基底的第二表面上。在衍射光学元件的制造方法中，首先提供基底。然后，形成第一胶材层/第一半导体层于基底的第一表面上，并对其图案化。接着，形成第二胶材层/第二半导体层于基底的第二表面上，并对其图案化。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112578491 A (43)申请公布日 2021.03.30 (21)申请号 20201

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