用于微光机电结构元件的制造方法和相应的微光机电结构元件.pdfVIP

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2023-06-02 发布于四川
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用于微光机电结构元件的制造方法和相应的微光机电结构元件.pdf

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本发明提出一种用于微光机电结构元件的制造方法和一种相应的微光机电结构元件。微光机电结构元件配备有基底衬底(1a)，所述基底衬底具有构造在所述基底衬底中的空穴(5)，所述空穴被覆盖衬底(1b)封闭，配备有在所述空穴(5)上方的覆盖衬底(1b)上的光波导(50)，所述光波导具有被包覆的波导芯(50c)，配备有在环绕的覆盖衬底(1b)的区域中的电接触元件(20)，其中，在所述电接触元件(20)下方布置有由能导电的多晶硅层形成的接触垫(10a‘)，其中，所述光波导(50)和位于所述光波导下方的覆盖衬底(

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116194813 A (43)申请公布日 2023.05.30 (21)申请号 202180059517.6 (74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司

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