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具有多段式集光器模块的短波长辐射源.pdfVIP

具有多段式集光器模块的短波长辐射源.pdf

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    一种辐射源包含集光器模块，所述集光器模块包括位于具有发射等离子体的真空室中的光学集光器，还包括用于碎片减缓的装置，所述装置包括至少两个外壳，所述外壳布置成输出无碎片的短波长辐射的同心束，所述光束到达光学集光器，优选地由几个相同的反射镜组成。每个外壳外部都有永磁体，在所述外壳内部产生磁场，以减缓碎片颗粒的带电部分，并提供无碎片的短波长辐射同心束。还使用了其它碎片减缓技术。优选地，所述等离子体是由旋转目标组件提供到激光束聚焦区域的液体金属目标的激光产生等离子体。本发明的技术结果是产生了大功率、高亮度

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116195369 A (43)申请公布日 2023.05.30 (21)申请号 202180054712.X 萨米尔 ·埃尔维　

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