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本发明公开了一种连续式生产晶体硅太阳能电池的方法，步骤为：步骤S1：通过制绒机完成清洗制绒；步骤S2：通过扩散炉制PN结；步骤S3：经扩散炉处理后的硅片以水平传送方式送入高温退火炉，完成退火；步骤S4：经高温退火炉处理后的硅片以水平传送方式送入平板式PECVD，完成背面镀钝化膜、表面镀减反射膜；步骤S5：对镀膜后的硅片进行激光刻槽、丝网印刷、烧结及测试分选，形成晶体硅太阳能电池。本发明具有对硅片的损伤少、效率高、所需操作人员少、工序间物料传送结构简单等优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112582498 A
(43)申请公布日
2021.03.30
(21)申请号 20191
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