有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共13页，其中可免费阅读12页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种晶圆缺陷扫描系统及扫描方法和计算机存储介质，所述晶圆缺陷扫描方法包括：提供一待测晶圆，具有x颗待扫描的晶粒；提供一扫描机台，设置有所述扫描机台能够记录的缺陷数量的上限y个；以及，对所述待测晶圆上的晶粒进行第一次扫描，若扫描到的缺陷数量达到所述上限y个时，已扫描的所述晶粒的数量小于x颗，则对x颗所述晶粒重新执行第二次扫描；其中，在所述第二次扫描的过程中，每当扫描到的缺陷数量达到所述上限y个时，对扫描到的缺陷数量进行取样记录，直至已扫描的晶粒的数量达到x颗时，所有次的取样记录的数量之
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112614790 A
(43)申请公布日 2021.04.06
(21)申请号 202011483296.9
(22)申请日 2020.12.16
(71)申请人 上海华力微电子有限公司
文档评论（0）