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本发明公开了一种半导体硫化氢气体传感器，包括基底和位于基底上的感应电极和参比电极，所述感应电极和参比电极分别包括两个，所述感应电极和参比电极的两端都分别连接焊盘，且两个感应电极和两个参比电极通过焊盘外接导线组成惠斯通电桥；所述感应电极和焊盘暴露在空气中，所述参比电极被绝缘层覆盖，所述感应电极为金属银材质。本发明所公开的传感器尺寸小、功耗低、成本低、检测灵敏、稳定性好。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112611788 A
(43)申请公布日 2021.04.06
(21)申请号 202011578253.9
(22)申请日 2020.12.28
(71)申请人 山东大学
地址 25
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