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本实施方式公开了一种静电吸盘组件和一种静电吸盘制造方法，其中用于感测基板的基板感测部分和与用于向基板感测部分供电的电源设备连接的信号线已经被形成为嵌入在静电吸盘中。因此，本实施方式可提供为使得用于感测安装在静电吸盘上的基板的基板感测部分和用于向基板感测部分供电的信号线嵌入在静电吸盘中，与常规的方式相比，这可增强载体主体的刚性、防止变形并防止对所述载体主体的电极的干扰。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112640081 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 201980055932.7 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理
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