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本发明涉及一种进行升华干燥的衬底处理方法及衬底处理装置，在使溶剂从包含覆盖衬底表面的升华性物质的干燥前处理液的液膜蒸发而在衬底表面上形成包含升华性物质的凝固体，且使凝固体升华，由此，从衬底表面上将液膜排除的干燥前处理液膜排除工序中，产生区域并存状态，所述区域并存状态是凝固体升华使得衬底表面干燥的干燥区域、残存有凝固体的凝固体残存区域、及残存有液膜的液体残存区域依次从衬底表面的中央部朝向衬底表面的周缘部排列的状态，一边维持区域并存状态一边以凝固体残存区域朝向衬底表面的周缘部移动的方式使干燥区域扩大
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112640057 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 201980056867.X (74)专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限
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