有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共14页，其中可免费阅读13页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本公开提供了一种谐振式差压传感器，包括：盖板和本体，二者之间通过阳极键合在一起，器件层上制作有第一谐振器、第二谐振器和第三谐振器，衬底层上制作有第一压力敏感膜，第一谐振器位于第一压力敏感膜的中央位置，第二谐振器位于第一压力敏感膜的边缘区域，第三谐振器位于器件层上的第一压力敏感膜区域外的任意一侧边框上，玻璃层上制作有吸气剂槽，吸气剂槽与第三谐振器分别位于第一压力敏感膜两侧的边框上。本公开的谐振式差压传感器无需外部温度敏感元件即可进行温度补偿，克服温度场分布不匀和温度测量不准确的问题，无需外部压力敏
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112611501 B
(45)授权公告日 2022.03.04
(21)申请号 202011643286.7 审查员 胡跃澜
(22)申请日 2020.12.30
文档评论（0）