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2023-06-03 发布于四川
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本发明涉及成膜装置和成膜方法。提供一种能够以较高的精度调整膜厚的面内分布的技术。本公开的一方式的成膜装置包括：处理室；旋转台，其设于所述处理室内，具有能够在上表面沿着周向载置基板的基板载置区域；原料气体供给部，其设于所述旋转台的上方，沿着所述旋转台的半径方向延伸；多个辅助气体供给部，其相对于所述原料气体供给部设于所述旋转台的旋转方向上的下游侧处的所述旋转台的上方，沿着所述旋转台的所述半径方向具有规定间隔地设置；以及气体排气部，其相对于所述辅助气体供给部设于所述旋转台的旋转方向上的下游侧处的所述旋

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112626498 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 202010982683.0 (22)申请日 2020.09.17 (30)优先权数据

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