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本发明提供一种可吹动粉末的原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元，其中驱动单元通过轴封装置带动真空腔体转动。轴封装置包括一外管体及一内管体，其中内管体设置在外管体的容置空间内。至少一抽气管线及至少一进气管线位于内管体内，其中进气管线由内管体延伸置反应空间内，并用以将一非反应气体输送至反应空间，以吹动反应空间内的粉末。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112626495 B
(45)授权公告日 2022.06.10
(21)申请号 202011280481.8 审查员 吴镇涛
(22)申请日 2020.11.16
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