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目的在于提供一种技术，在作为液体处理的第一处理后，适当地决定开始后续的第二处理的时机。为了实现上述目的，在停止供给第一处理液后，通过照相机拍摄基板的上表面。在通过照相机取得的拍摄图像的判断区域内检测亮度(光强度)的径向上的极值点，由此检测干涉纹。在检测到检测对象的干涉纹的情形中，时机决定部决定开始第二处理的时机。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112640056 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 201980055836.2 (74)专利代理机构 隆天知识产权代理有限公司
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