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感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法、半导体元件及热产碱剂.pdfVIP

感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法、半导体元件及热产碱剂.pdf

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    本发明提供一种固化性及保存稳定性优异的感光性树脂组合物。并且，本发明提供一种利用上述感光性树脂组合物的固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体元件。感光性树脂组合物包含由式(N1)表示的热产碱剂、以及聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的至少一种前体化合物。式(N1)中，XN表示羟基、羧基及磺酸基中的任一种，ZN表示氧原子或硫原子，LN为从相邻氮原子连结至XN为止的烃基，且表示构成连结链的原子数为2～6的烃基。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112639615 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 201980056004.2 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任

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