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本发明公开了一种基于薄膜溅射的抗过载扭矩传感器，包括：输出线缆、电路板、垫柱、壳体、弹性体、应变梁及薄膜应变计；所述弹性体为环状板，所述环状板由内到外顺序分为内缘段、安装环段及外缘段；且安装环段设有一体成型的矩形凸起，作为应变梁；所述壳体同轴安装在弹性体的安装环段上；所述电路板位于壳体的环形腔内，并通过垫柱安装在弹性体的安装环段上；所述输出线缆的一端焊接在电路板上，另一端与外部的电连接器连接；两个薄膜应变计的应变电阻均通过溅射镀膜工技术溅射在弹性体的应变梁上；本发明采用溅射镀膜工艺制成敏感薄膜，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112611489 A
(43)申请公布日 2021.04.06
(21)申请号 202011519048.5
(22)申请日 2020.12.21
(71)申请人 陕西电器研究所
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