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激光系统和电子器件的制造方法.pdfVIP

激光系统和电子器件的制造方法.pdf

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    本公开的一个观点的激光系统包含第1固体激光装置、波长转换系统、准分子放大器和控制部，第1固体激光装置包含第1多半导体激光器系统、第1半导体光放大器和第1光纤放大器。第1多半导体激光器系统包含第1多个半导体激光器、第1谱监视器和第1合束器，该第1多个半导体激光器的波长彼此不同，并且为单纵模，并且进行连续波振荡，控制部对由第1多个半导体激光器生成的第1多线谱的各线的振荡波长和光强度进行控制，以得到从外部装置指示的至少目标中心波长或目标谱线宽度的准分子激光。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112640230 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 201880097096.4 (51)Int.Cl.

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