一种双背板结构的MEMS芯片及其制作方法、MEMS麦克风.pdfVIP

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2023-06-04 发布于四川
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一种双背板结构的MEMS芯片及其制作方法、MEMS麦克风.pdf

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本发明提供一种双背板结构的MEMS芯片及其制作方法、MEMS麦克风，所述MEMS芯片包括具有背腔的衬底以及设于所述衬底一侧的振膜、第一背板和第二背板；所述第一背板间隔设置在所述振膜邻近衬底的一侧，且完全嵌入所述衬底的背腔中，与所述振膜形成第一电容；所述第二背板间隔设置在所述振膜远离衬底的一侧，与所述振膜形成第二电容；所述第一电容、第二电容构成一对差分电容。本发明的MEMS麦克风可输出差分信号，有利于消除外界的干扰信号，提高信噪比，减少谐波失真；此外，本发明的形成于背腔中的第一背板可实现较大的厚度

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112672262 A (43)申请公布日 2021.04.16 (21)申请号 202110278158.5 (22)申请日 2021.03.16 (71)申请人山东

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