与外涂覆的光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物.pdfVIP

与外涂覆的光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物.pdf

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一种用于形成光致抗蚀剂浮雕图像的方法，所述方法包括将涂料组合物的层施加在基底上；并且将光致抗蚀剂组合物的层布置在所述涂料组合物的层上，其中所述涂料组合物包含含胺聚合物，所述含胺聚合物包含烃取代的氨基并且具有氮原子，所述氮原子的量是基于所述含胺聚合物的总重量的3至47重量百分比。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112662214 A (43)申请公布日 2021.04.16 (21)申请号 202010978755.4 G03F 7/004 (2006.01) (22)申请日 2

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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