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本发明提供被加工物的保持方法,能够通过保持工作台可靠地保持翘曲的状态的被加工物。该被加工物的保持方法将按照正面侧呈凸状弯曲且背面侧呈凹状弯曲的方式翘曲的被加工物利用保持工作台的保持面进行保持,其中,该被加工物的保持方法具有如下的步骤:固定步骤,将被加工物的正面侧固定于支承基台的背面侧,该支承基台具有圆形的凹部和围绕该凹部的环状的外周部,该凹部设置于该支承基台的正面侧的中央部并且直径比所述保持面大;以及保持步骤,按照将保持面定位于凹部的内部的方式将支承基台配置于保持工作台上,并且对保持面作用负压,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112658986 A
(43)申请公布日 2021.04.16
(21)申请号 202011089936.8 B23K 26/70 (2014.01)
(22)申请日 2
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